清華成功研發(fā)光刻機(jī)雙工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)α樣機(jī)
清華新聞網(wǎng)5月9日電 4月28日，國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱02專項(xiàng)）實(shí)施管理辦公室在清華大學(xué)組織召開“光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)。專家組對(duì)項(xiàng)目任務(wù)完成情況予以高度評(píng)價(jià)，并一致同意該項(xiàng)目通過驗(yàn)收。清華大學(xué)副校長(zhǎng)薛其坤院士出席。
光刻機(jī)是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備。為將設(shè)計(jì)圖形制作到硅片上，并在2～3平方厘米的方寸之地集成數(shù)十億晶體管，光刻機(jī)需達(dá)到幾十納米甚至更高的圖像分辨率。而光刻機(jī)兩大核心部件之一的工件臺(tái)，在高速運(yùn)動(dòng)下需達(dá)到2nm（相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的三萬分之一）的運(yùn)動(dòng)精度。由此奠定了光刻機(jī)超精密工件臺(tái)技術(shù)在超精密機(jī)械制造與控制領(lǐng)域的最尖端地位，被稱為超精密技術(shù)皇冠上的明珠。
項(xiàng)目由清華大學(xué)機(jī)械工程系朱煜教授擔(dān)任負(fù)責(zé)人，以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)為目標(biāo)，力爭(zhēng)為研發(fā)65-28nm雙工件臺(tái)干式及浸沒式光刻機(jī)提供具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品級(jí)技術(shù)。項(xiàng)目聯(lián)合了華中科技大學(xué)、上海微電子裝備有限公司和成都工具所等3家單位，下設(shè)10個(gè)課題。清華大學(xué)機(jī)械工程系、精密儀器系和材料學(xué)院分別承擔(dān)了其中6個(gè)課題，機(jī)械工程系IC裝備團(tuán)隊(duì)承擔(dān)了樣機(jī)集成研發(fā)等核心科研任務(wù)。
驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)。記者 張 宇 攝
副校長(zhǎng)薛其坤致辭。記者 張 宇 攝
副校長(zhǎng)薛其坤在致辭中說，本項(xiàng)目是清華大學(xué)牽頭承擔(dān)的最大國(guó)家科技重大專項(xiàng)之一。項(xiàng)目啟動(dòng)之初，清華就成立了專項(xiàng)管理辦公室，制定了相關(guān)管理辦法，確保專項(xiàng)任務(wù)的順利實(shí)施。在項(xiàng)目研發(fā)過程中，學(xué)校通過院系協(xié)調(diào)、整合資源、籌措資金，積極支持項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)建設(shè)潔凈實(shí)驗(yàn)室等研究條件，從多方面保障了項(xiàng)目正常進(jìn)程。薛其坤表示，目前全校師生都在認(rèn)真學(xué)習(xí)貫徹習(xí)近平總書記給清華大學(xué)建校105周年的賀信精神，希望項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)充分領(lǐng)會(huì)，積極開展?jié)M足國(guó)家戰(zhàn)略需求的重大科研項(xiàng)目，加快推進(jìn)科研成果轉(zhuǎn)化，為深度參與國(guó)家創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略做出積極貢獻(xiàn)。
國(guó)家科技部原副部長(zhǎng)曹健林在總結(jié)發(fā)言中充分肯定了清華雙工件臺(tái)團(tuán)隊(duì)的突出貢獻(xiàn)，希望項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)站在新的起點(diǎn)，為我國(guó)超精密機(jī)電裝備的戰(zhàn)略突破做出更大的貢獻(xiàn)。專家組成員紛紛表示，光刻機(jī)作為國(guó)家戰(zhàn)略必爭(zhēng)的裝備，研發(fā)面臨極高的挑戰(zhàn)和困難，祝賀清華研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)專項(xiàng)的重大貢獻(xiàn)。
驗(yàn)收會(huì)上，專家組認(rèn)真聽取了項(xiàng)目完成情況匯報(bào)，以及項(xiàng)目樣機(jī)測(cè)試驗(yàn)證報(bào)告和專家組的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試報(bào)告，審閱了驗(yàn)收材料和財(cái)務(wù)資料。經(jīng)過充分討論、質(zhì)詢和評(píng)議，專家組對(duì)項(xiàng)目完成情況給予了92分的高分，一致同意項(xiàng)目通過任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。
驗(yàn)收專家組由相關(guān)領(lǐng)域21名技術(shù)專家和財(cái)務(wù)專家組成。專家組認(rèn)為，研究團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)5年完成了全部研究?jī)?nèi)容，突破了平面電機(jī)、微動(dòng)臺(tái)、超精密測(cè)量、超精密運(yùn)動(dòng)控制、系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)分析、先進(jìn)工程材料制備及應(yīng)用等若干關(guān)鍵技術(shù)，攻克了光刻機(jī)工件臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和集成技術(shù)，通過多輪樣機(jī)的迭代研發(fā)，最終研制出2套光刻機(jī)雙工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)α樣機(jī)，達(dá)到了預(yù)定的全部技術(shù)指標(biāo)，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際同類光刻機(jī)雙工件臺(tái)的技術(shù)水平。圍繞雙工件臺(tái)技術(shù)完成專利申請(qǐng)231項(xiàng)（其中國(guó)際發(fā)明專利41項(xiàng)），已獲得授權(quán)122項(xiàng)；培養(yǎng)了一支近200人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，建立了高水平研發(fā)平臺(tái)，為后續(xù)產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
光刻機(jī)雙工件臺(tái)樣機(jī)。
據(jù)悉，該項(xiàng)目是02專項(xiàng)核心任務(wù)光刻機(jī)項(xiàng)目群中第一個(gè)通過正式驗(yàn)收的項(xiàng)目。項(xiàng)目完成使得我國(guó)成為世界少數(shù)可以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一超精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)領(lǐng)域尖端系統(tǒng)的國(guó)家之一，將極大推動(dòng)我國(guó)高端光刻機(jī)的研制與產(chǎn)品化，是清華大學(xué)面向國(guó)家戰(zhàn)略需求、解決重大科技問題、踐行重大科研責(zé)任的一次標(biāo)志性成果。
部分驗(yàn)收專家在現(xiàn)場(chǎng)考察。段宏宇 攝
清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長(zhǎng)雒建斌院士，以及財(cái)務(wù)處相關(guān)負(fù)責(zé)人出席驗(yàn)收會(huì)。
編輯：悸 寔
