清華舉辦2015年中國平坦化技術(shù)大會暨海峽兩岸平坦化技術(shù)論壇
清華新聞網(wǎng)6月2日電 （通訊員 王同慶）5月28日、29日，由中國平坦化技術(shù)聯(lián)盟主辦、清華大學(xué)承辦的2015年中國平坦化技術(shù)大會暨海峽兩岸平坦化技術(shù)論壇在清華大學(xué)舉行。平坦化技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域的專家、學(xué)者和研究生一百余人參加了此次大會。
清華大學(xué)校長助理、機械工程學(xué)院院長尤政院士，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會執(zhí)行副理事長、秘書長徐小田，國家自然科學(xué)基金委工程與材料科學(xué)部常務(wù)副主任黎明，清華大學(xué)機械系主任、國際摩擦學(xué)會副主席雒建斌院士出席開幕式并致辭。大會由會議主席、中國平坦化技術(shù)聯(lián)盟主席、清華大學(xué)機械系路新春教授主持。
尤政致辭。
在為期兩天的會議議程中，臺灣科技大學(xué)陳炤彰教授、華僑大學(xué)副校長徐西鵬教授、國防科技大學(xué)戴一帆教授等專家、學(xué)者和業(yè)界代表為大家做了35場學(xué)術(shù)報告。此外，還有22位與會者進行了張貼交流。各界專家學(xué)者圍繞平坦化技術(shù)的機遇和挑戰(zhàn)，就CMP前沿技術(shù)、拋光工藝與后清洗、CMP耗材、CMP機理與仿真、硬質(zhì)材料CMP等重要議題，分享研究和思考取得了一系列重要的交流成果。
論壇現(xiàn)場。
本次會議設(shè)立了優(yōu)秀報告獎，通過表彰在學(xué)界和業(yè)界的創(chuàng)新思想與研究，推動平坦化技術(shù)研究和應(yīng)用不斷進步。經(jīng)過專家認真評選，最終評出優(yōu)秀報告3篇。閉幕式上，路新春為優(yōu)秀報告獲獎?wù)哳C獎。
供稿：機械系 學(xué)生編輯：長 松
