20多位“全副武裝”的學生面戴口罩,、身著無塵服,，一邊聆聽老師的細致講解，一邊透過玻璃墻認真觀察超凈間一塵不染的微納電子加工裝置,，眼神里充滿驚訝和對科學的敬意——作為清華大學先進科學實驗室的代表之一,，微電子與納電子學系的微納加工平臺每年都會在校研究生會舉辦的實驗平臺開放活動中“一展芳容”。
微納加工平臺主任吳華強介紹說,，活動目的是為了讓同學們“零距離”接觸平臺的實驗儀器設備,，親身見證科研魅力,。參加活動的同學們不僅在講解老師的帶領下參觀了平臺，還有機會和老師一起欣賞顯微鏡下的石墨烯材料,，更細致入微地體驗科學之美和神奇,。活動中,，同學們不斷向老師提問,，并得到了細心的解答。大家興致盎然,，在歡聲笑語中學到了平時接觸不到的相關領域科學知識,。
微納加工平臺支持基礎信息器件與系統(tǒng)等多領域、交叉學科,，開展前沿信息科學研究和技術開發(fā),。作為清華大學校級開放共享服務平臺，支撐的研究領域包括低維材料及新型器件,、柔性電子器件,、微流體、生物芯片,、納電子器件,、新型存儲器、微機電器件與系統(tǒng)（MEMS）等,，以材料和工藝技術作為獨具特色的主攻領域,，鼓勵研究人員獨立操作科研設備，并提供共享物理空間促進學科交叉,。平臺致力于建設成為國際一流的信息技術微納加工環(huán)境,，是一個“多目標”“開放式”的科研教學實驗平臺。
微電子學是現(xiàn)代信息學科和產(chǎn)業(yè)的基礎,，沒有微電子學的進步就沒有信息科學的蓬勃發(fā)展和信息社會的飛速前進,。清華大學微納加工平臺提供了一個從材料分析、微納加工,、器件測試,、封裝研究到可靠性測試的全方位創(chuàng)新平臺，高水平,、跨學科的科研團隊不斷在這個空間中匯聚,，共享先進設備，共促交叉學科發(fā)展,。
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1,、平臺功能分區(qū)
區(qū)域名稱 | 面積(m2) | 凈化級別 | 功能 |
百級區(qū)域 （光刻工藝區(qū)） | 120 | 100 | ü光學光刻 ü電子束光刻 ü激光直寫 |
千級區(qū)域 （工藝區(qū)） | 800 | 1000 | ü薄膜制備工藝 ü刻蝕工藝 ü氧化擴散類工藝 ü濕法制程工藝 ü工藝參數(shù)測試 |
封裝專區(qū) | 180 | 1000 | ü封裝工藝 ü可靠性測試設備 |
測試分析區(qū) | 200 | 1000 | ü材料物性及結構測試 ü電參數(shù)測試等 |
2、平臺服務模塊
設計,、加工與集成,、測試分析
3,、平臺能力
具有先進設備：E-Beam、SPTS硅深刻蝕,、原子沉積系統(tǒng),、激光直寫機、Suss MA8雙面光刻機等150余臺加工與測試設備,，具有通用微納加工線,、通用光刻與清洗設備、薄膜設備,、刻蝕設備,、測試設備、封裝設備,；和八英寸后道線實現(xiàn)與產(chǎn)業(yè)界工藝兼容對接,，以及高端研究線，支持信息器件技術新材料,、新工藝的前沿基礎研究,。
4,、開放成效
每年利用平臺的課題組達到100多個,，活躍用戶400余人,，學科方向覆蓋包括信息科學與技術等絕大多數(shù)工程與理學學科,。
平臺連續(xù)榮獲“清華研發(fā)實驗服務基地開放服務獎”,、每年均有多臺設備榮獲“清華大學大型儀器設備使用效益獎”,。
