20多位“全副武裝”的學(xué)生面戴口罩、身著無(wú)塵服，一邊聆聽(tīng)老師的細(xì)致講解，一邊透過(guò)玻璃墻認(rèn)真觀察超凈間一塵不染的微納電子加工裝置，眼神里充滿(mǎn)驚訝和對(duì)科學(xué)的敬意——作為清華大學(xué)先進(jìn)科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的代表之一，微電子與納電子學(xué)系的微納加工平臺(tái)每年都會(huì)在校研究生會(huì)舉辦的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)開(kāi)放活動(dòng)中“一展芳容”。
微納加工平臺(tái)主任吳華強(qiáng)介紹說(shuō)，活動(dòng)目的是為了讓同學(xué)們“零距離”接觸平臺(tái)的實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備，親身見(jiàn)證科研魅力。參加活動(dòng)的同學(xué)們不僅在講解老師的帶領(lǐng)下參觀了平臺(tái)，還有機(jī)會(huì)和老師一起欣賞顯微鏡下的石墨烯材料，更細(xì)致入微地體驗(yàn)科學(xué)之美和神奇。活動(dòng)中，同學(xué)們不斷向老師提問(wèn)，并得到了細(xì)心的解答。大家興致盎然，在歡聲笑語(yǔ)中學(xué)到了平時(shí)接觸不到的相關(guān)領(lǐng)域科學(xué)知識(shí)。
微納加工平臺(tái)支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開(kāi)展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開(kāi)發(fā)。作為清華大學(xué)校級(jí)開(kāi)放共享服務(wù)平臺(tái)，支撐的研究領(lǐng)域包括低維材料及新型器件、柔性電子器件、微流體、生物芯片、納電子器件、新型存儲(chǔ)器、微機(jī)電器件與系統(tǒng)（MEMS）等，以材料和工藝技術(shù)作為獨(dú)具特色的主攻領(lǐng)域，鼓勵(lì)研究人員獨(dú)立操作科研設(shè)備，并提供共享物理空間促進(jìn)學(xué)科交叉。平臺(tái)致力于建設(shè)成為國(guó)際一流的信息技術(shù)微納加工環(huán)境，是一個(gè)“多目標(biāo)”“開(kāi)放式”的科研教學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
微電子學(xué)是現(xiàn)代信息學(xué)科和產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，沒(méi)有微電子學(xué)的進(jìn)步就沒(méi)有信息科學(xué)的蓬勃發(fā)展和信息社會(huì)的飛速前進(jìn)。清華大學(xué)微納加工平臺(tái)提供了一個(gè)從材料分析、微納加工、器件測(cè)試、封裝研究到可靠性測(cè)試的全方位創(chuàng)新平臺(tái)，高水平、跨學(xué)科的科研團(tuán)隊(duì)不斷在這個(gè)空間中匯聚，共享先進(jìn)設(shè)備，共促交叉學(xué)科發(fā)展。
相關(guān)鏈接：
1、平臺(tái)功能分區(qū)
區(qū)域名稱(chēng) | 面積(m2) | 凈化級(jí)別 | 功能 |
百級(jí)區(qū)域 （光刻工藝區(qū)） | 120 | 100 | ü光學(xué)光刻 ü電子束光刻 ü激光直寫(xiě) |
千級(jí)區(qū)域 （工藝區(qū)） | 800 | 1000 | ü薄膜制備工藝 ü刻蝕工藝 ü氧化擴(kuò)散類(lèi)工藝 ü濕法制程工藝 ü工藝參數(shù)測(cè)試 |
封裝專(zhuān)區(qū) | 180 | 1000 | ü封裝工藝 ü可靠性測(cè)試設(shè)備 |
測(cè)試分析區(qū) | 200 | 1000 | ü材料物性及結(jié)構(gòu)測(cè)試 ü電參數(shù)測(cè)試等 |
2、平臺(tái)服務(wù)模塊
設(shè)計(jì)、加工與集成、測(cè)試分析
3、平臺(tái)能力
具有先進(jìn)設(shè)備：E-Beam、SPTS硅深刻蝕、原子沉積系統(tǒng)、激光直寫(xiě)機(jī)、Suss MA8雙面光刻機(jī)等150余臺(tái)加工與測(cè)試設(shè)備，具有通用微納加工線、通用光刻與清洗設(shè)備、薄膜設(shè)備、刻蝕設(shè)備、測(cè)試設(shè)備、封裝設(shè)備；和八英寸后道線實(shí)現(xiàn)與產(chǎn)業(yè)界工藝兼容對(duì)接，以及高端研究線，支持信息器件技術(shù)新材料、新工藝的前沿基礎(chǔ)研究。
4、開(kāi)放成效
每年利用平臺(tái)的課題組達(dá)到100多個(gè)，活躍用戶(hù)400余人，學(xué)科方向覆蓋包括信息科學(xué)與技術(shù)等絕大多數(shù)工程與理學(xué)學(xué)科。
平臺(tái)連續(xù)榮獲“清華研發(fā)實(shí)驗(yàn)服務(wù)基地開(kāi)放服務(wù)獎(jiǎng)”、每年均有多臺(tái)設(shè)備榮獲“清華大學(xué)大型儀器設(shè)備使用效益獎(jiǎng)”。
